يعرض الشكل 1 الإعداد لعملية الاستئصال الطبيعية بالليزر. حيث يتم تركيز شعاع الليزر على السطح العلوي من الركيزة. بهذه الطريقة يمكن أن تحقق أقصى كثافة للطاقة على السطح. هذا يكفي لرفع درجة حرارة المادة إلى نقطة الغليان. عادةً ما يؤدي أي انحراف عن المسافة البؤرية الدقيقة إلى تقليل حجم المادة. نقوم بإزالته من الهدف وبالتالي يكون لهذا تأثير ضار على أداء العملية. وبالتالي ، في الظروف العادية ، يعد هذا تأثيرًا غير مرغوب فيه يجب أن يكون قد تم تحاشيه. لذلك ، فإن أجهزة الاستشعار البصرية تم دمج النظام في الجهاز لقياس المسافة إلى السطح المستهدف وإذا لزم الأمر لتعديل خرج طاقة الليزر بحيث يتم الحفاظ على معدل ثابت لإزالة المواد.

ومع ذلك ، لإجراء التنظيف بالليزر ، يجب أن يعمل النظام في حالة إلغاء التركيز هذه (انظر الشكل 1). نتيجة للإزاحة ، لا تصل شعاع الليزر إلى كثافة طاقة كافية لإزالة المواد. في حين أنه يكفي لتليين الطبقة السطحية العلوية وأي حطام ونقوم بإيداعه أثناء المعالجة.

سلسلة GT